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特長
■ゴムの薄膜（ダイアフラム）の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。
■接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。
■シンプル構造でメンテナンスも容易です。
用途
■吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。
■分析機器、理化学機器。
■半導体検査装置。
■デバイス組立。
■自動機、包装機。
仕様
■排気速度(L/min)50/60Hz:40/46
■到達圧力(Pa):3.3×10[[の3乗]]
■吸気口径(mm):12
■電源(V):単相100
■寸法(mm):157×336.5×217
■騒音値(dB):-
■吸排気管径(mm):O.D.φ9×I.D.φ6(G1/4)
■サーマルプロテクタ付
■到達圧力(KPa):3.3
■吸排気管径(mm):O.D.φ9×I.D.φ6(G1/4)
■最大寸法(mm):157(W)×336.5(L)×217(H)
※ポンプ停止後に再起動する場合、ポンプ内が真空状態ですと再起動しない場合があります。ポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。
※「DA-41D」「DA-81S」には、バランスポートが装備されています。これは、ポンプ室の1段側と2段側の圧力を均衡させ、真空起動を可能にす
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